安全度等級（SIL）：SIL 3（IEC 61508）。
性能等級（ PL）：PL e（EN/ISO 13849-1）。
運算控制方式：存儲程序反復運算。
程序容量：160K（安全程序用：40K）。
程序內存：640K。
軟元件/標簽內存：1710K。
數據內存：10M。
將安全功能整合到控制系統中R16SFCPU
可將以往的MELSEC iQ-R系列模塊作為一般控制用途，
在同一基板上使用，因此可構建混合使用一般控制和安全控制的系統。
而且，可通過CC-Link IE Field網絡整合一般通信和安全通信，
在進行安全通信時，也可使用一般的以太網電纜，
無需使用專用電纜等。
符合國際安全標準的安全CPU可同時控制一般系統和安全系統。
可通過CC-Link IE Field網絡，
將安全開關和安全光幕等連接到使用了安全CPU的系統，
構建混合使用一般控制和安全控制的系統。
此外，通過使用操作直觀的工程軟件GX Works3，
集中進行一般控制和安全控制的編程。模擬量輸出通道數：8CH。
精度
環境溫度25正負5°C：正負0.1% 以內。
環境溫度0～55°C：-。
溫度系數：正負50ppm/℃。
轉換速度：1ms/CH。
通道間絕緣：隔離變壓器絕緣。
輸出短路保護：有。
外部供給電源：-。
外部配線連接方式：40針連接器。
電壓輸出
數字量輸入值：?32000～32000。
模擬量輸出電壓：DC?10～10V。
電流輸出
數字量輸入值：0～32000。
模擬量輸出電流：DC0～20mA。
高速輸出流暢的模擬量波形。
模擬量輸出模塊具有將任意波形數據注冊到模塊中，并根據設定的轉換周期連續執行模擬量輸出的功能。
執行沖壓機和注塑成型機等的模擬量(扭矩)控制時，可自動輸出事先注冊的控制波形，
通過程序進行高速、流暢的控制。此外，僅需事先將波形數據注冊到模塊中，
即可輕松控制模擬量波形，因此在進行生產線控制等重復控制時，
無需使用專用的程序來創建波形，可減少編程工時。
可使用參數輕松設定轉換運算和比例縮放，無需創建專用的程序。
因此，有助于降低程序的開發成本并減小程序容量。輸入點數：16點。
額定輸入電壓、頻率：DC24V。
額定輸入電流：6.0mA。
響應時間：5μs～70ms。
公共端方式：8點/公共端（負極公共端）。
中斷功能：有。
外部配線連接方式：18點螺釘端子臺。
輸入模塊為控制系統中使用最多的模塊。
可根據輸入電壓、輸入入點數的不同，選擇最適合用戶需求的模塊。
1個模塊配備多種功能。
可通過單個輸入模塊，以1點為單位設設定高速響應、中斷輸入功能。
此外，可按模塊的公共端自由選擇正極公共端/負極公共端。
無需按輸入規格和功能使用不同的模塊，減少了模塊數量，
因此插槽占用數量可比以往減少20%、部署成本可比以往降低60%。