端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D：φ1mm。
保護管長度L：20cm。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品E3ZM-T66H使用說明書。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇E3ZM-T66H
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。支架材質(zhì)：不銹鋼 (SUS304)。
適用傳感器（傳感器側(cè)安裝孔距）：E3Z，E39-R3。采用了耐藥品、耐油性都很優(yōu)秀的特氟龍（PFA）
能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應。（-40 ~ +200℃）
實現(xiàn)了0.5mm的高重復精度。
采用了防止液體的結構E3ZM-T66H使用說明書。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D：φ8mm。
保護管長度L：35cm。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。通過按鈕型檢測方式的采用，能準確檢測以往難以檢測的物體。
符合半導體FOUP盒規(guī)格，不受地面材質(zhì)、顏色、反射率的 影響，
準確檢測FOUP盒的落座情況。
薄型設計可實現(xiàn)搬運臂上的搭載。
4方向指示燈提高視覺辨識性。
以光學方式檢測驅(qū)動器的動作，實現(xiàn)超長使用壽檢測距離：0-3.5mmE3ZM-T66H使用說明書。
檢測方式：按鈕型。
輸出形式：NPN輸出。
動作模式：無負載時 ON。
導線長：1m。小型塑料機殼型。
檢測方式：回歸反射型。
形狀：立式型。
連接方式：接插件式(M12)。
檢測距離：紅外光300mm。
輸出方式：NPN輸出。
板狀物檢查玻璃晶圓片LCD玻璃基板：適用。
圓筒物檢查可樂瓶透明瓶子：適用。尺寸：48×48mm。
控制輸出1：電壓輸出(SSR驅(qū)動用)。
控制輸出2：電壓輸出(SSR驅(qū)動用)。
輔助輸出：獨立2點。
電源電壓：AC100～240V。
端子類型：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱器斷線、SSR故障檢測功能：--。
通信：--。
事件輸入：2點。
遠程SP輸入：--。
傳送輸出：有。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選擇、操作及設定簡便。
輸入輸出點數(shù)等的功能性能充實。
支持應用范圍更為廣泛。
采用高15.2mm的PV顯示(白色)，提高可視性。
實現(xiàn)50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(最大3點)、事件件輸入(最大4點)、傳送輸出、
遠程SP輸入功能，支持各種應用程序E3ZM-T66H手冊。
E5CCC具有進深60mm的纖細機身E3ZM-T66H手冊。
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計算機相連
后，無需電源接線即可設定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設定。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯(lián)合溫控器。